ASMLとオランダ応用科学研究機構TNOが協力し、フォトニックチップの量産を推進

格隆汇2026/06/24 05:43

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```html格隆汇6月24日｜ASML(ASML.US)とオランダ応用科学研究機構（TNO）は、協力してフォトニクスチップの産業化を進めるための協定を締結したと発表しました。両社の協力は、TNOがオランダ・アイントホーフェンのハイテクパークで建設中のフォトニクスチップ試験生産ラインを中心に展開されます。ASMLは段階的にDUVおよびI-Lineリソグラフィ機器を含む製造技術支援を提供します。本プロジェクトの稼働後、同工場は6インチウェハースケールのインジウムリン（InP）フォトニクスチップの量産能力を備えることになります。```

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